SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1,、用于太陽能電池測量,；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測量,；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4,、用于機械部件的計量,；

5、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量,。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,，確保儀器在車間也能正常工作,。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù)。